采用波形控制技术，输出特性可调：包括输出频率，占空比，输出波形可调。可输出 直流，直流+脉冲，双向方波，双向梯形波等波形。极快弧光响应，极低能量存储。产品稳定性能优，可靠性高。精 准便利控制镀膜。用于太阳能电池片管PECVD成膜等多种膜涂层制造。磁控溅射工艺。孪生靶溅射工艺等真空镀膜。
● 模块化设计，符合行业标准
● 前端PFC+碳化硅全桥电路，DSP和FPGA数字控制调节，输出稳定性 0.3%；
● 控制电弧携带能量表现优，<0.4mj/kw，
● 弧光响应极快，电弧响应时间<100ns；
● 波形和频率灵活可调，双极性、单极性、直流、脉冲多种模式合一电弧主动抑制技术；
● 控制指令快速响应；
● 丰富的通讯接口:Ether CAT,DeviceNET,Profibuse,Profinet,Modbuse等
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