力源中频电源是广泛应用在太阳能电池制造和真空镀膜过程中,等离子体增强化学气相沉积法(PECVD) 镀膜工艺上的特种电源。输出有单通道、双通道等方式,每通道功率可达15kW~60kW,可以输出多种电压波形 (如方波、阶梯波、双极性脉冲波),满足不同镀膜工艺要求。
● 全数字化控制;
● 电源转换效率高;
● 输入功率因数高,
● 谐波电流含量低;
● 极低电弧能量,超快电弧关闭和恢复输出;
● 可调多种输出波形;
● 通过输出信号变化轻松适配不同工艺。
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