主要应用于半导体、晶圆电镀等小电流工艺
● 主要应用于半导体、晶圆电镀等小电流工艺
● 交流输入电压经过EMI电路滤波后,再经过PFC电路矫正电源的功率因数,得到约380V左右高压直流,然后经过反激高 频隔离降压电路以及BUCK电路,最后得到目标输出电压以及电流
● 控制电路对输出电压和输出电流取样,使输出电压或电流保持稳定
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